Sensor jarak kapasitif terutama terdiri dari serangkaian bagian seperti osilator frekuensi tinggi dan amplifier. Diantaranya, deteksi permukaan sensor dan ground akan membentuk kapasitor besar. Pada awalnya, tidak ada dekat sensor. Objek apa pun, sehingga loopnya akan menghadirkan keadaan osilasi, tetapi ketika objek semakin dekat, kapasitas kapasitor juga akan berubah saat ini. Ketika osilasi berhenti, keadaan osilasi akan diubah menjadi listrik. Sinyal diperkuat oleh amplifier dan kemudian diubah menjadi sinyal biner untuk operasi switching.